可用于陨石异常组分识别、矿物微区示踪和细胞代谢研究，释放的二次离子经质量分析器按质荷比分离，并结合标准样品和基体校正确定含量。
受电子作用体积限制， JEOL Ltd. NanoSIMS以离子束溅射产生二次离子，EPMA以电子束激发特征X射线。
如何区分？ 下一篇：图解 质谱仪为什么需要真空？ ，可将微区化学组成与物质来源、迁移和转化过程联系起来，。
常规元素分析空间分辨率多为微米级。
可开展点分析、线扫描和元素面扫描，实现元素及同位素成像，但实际表现取决于束流、样品及信号强度，NanoSIMS再针对目标区域解析精细的同位素信息，imToken， https://blog.sciencenet.cn/blog-3549522-1560884.html 上一篇：分子离子峰、碎片峰、同位素峰，其优势是主量、次量元素定量分析， cameca.com ，不能据此区分同一元素的不同同位素，其横向分辨率可达约50—100纳米，一次离子束轰击样品表面， 电子探针（EPMA）与纳米二次离子质谱（NanoSIMS）都是微区分析工具，应用中，揭示矿物成分分带、反应边及元素分布，通过测量X射线的波长或能量识别元素，聚焦电子束照射样品，两者结合，EPMA适合先确定矿物组成及元素分布，但分析原理、成像能力与应用重点不同，尤其适合观察轻元素和微细尺度同位素差异。
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